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等離子清洗機
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真空等離子清洗機TS-PL200...

產品型號:等離子表面活化/蝕刻、等離子表面改性

產品簡介: 真空等離子清洗機

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產品參數:

型號 真空等離子清洗機TS-PL200MA
射頻電源 13.56MHz
電源匹配器
0~1000W可調
PLC自動控制系統
日本三菱
變頻控制系統
臺灣臺達,PID閉環控制,真空度可維持
人機工控系統
臺灣威綸、7寸
真空泵
飛越
真空排氣系統
北儀、全不銹鋼管路+波紋管+2級過濾裝置
真空供氣系統
SMC、Φ6全不銹鋼管+不銹鋼鎖套管路
變頻控制系統
臺達PID閉環控制
破真空系統
北儀、
工作真空度
10~60pa(可根據要求設定,可恒定真空度)
設備重量(含主機/真空泵)
500KG
壓縮空氣要求
0.6~0.8MPa
處理氣體 O2、N2、Ar2、CF4

東信高科真空等離子清洗機性能優勢:

1、適用形狀復雜樣品,包括內孔內壁,全方位均勻清洗。

2、處理全程無污染。

3、進口精密CNC數控機床加工工藝,并經過進口三坐標測量儀進行質量監控。

4、密封性卓越的真空腔體設計,軍工級別的高真空度腔體設計及制造工藝。

5、原裝進口電源電路技術,產生高密度等離子體,確保出眾的清洗效果。

6、特殊處理及特殊結構的放電裝置,確保形成穩定均勻的等離子體。

7、采用高精度電子流量計,美國世維洛克氣體管路及閥件。

8、自主研發的低壓真空等離子清洗軟件系統,性能穩定可靠,操作簡單,便于維護,高效便捷。

9、強大全面的安全防護系統,溫度安全防護功能,過載防護功能,短路斷路報警防護功能,各種誤操作保護功能。

真空等離子清洗機原理:

1.1 等離子體反應機理

等離子體是正離子和電子的密度大致相等的電離氣體。由離子、電子、自由激進分子、光子以及中性粒子組成,是物質的第四態。在等離子體中除了氣體分子、離子和電子外,還有存在受到能量激勵狀態電中性的原子或原子團(又稱自由基),以及等離子體發射出的光線,其中波的長短、能量的高低,在等離子體與物體表面相互作用時有著重要的作用。

1.2等離子體表面處理機理:

(A)對材料表面的刻蝕作用

物理作用 等離子體中的大量離子、激収態分子、自由基等多種活性粒子,作用到固體樣品表面,清除了表面原有的污染物和雜質,而且會產生刻蝕作用,將樣品表面變粗糙,形成許多微細坑洼,增大了樣品的比表面。提高固體表面的潤濕性能。

(B)激活鍵能,交聯作用

等離子體中的粒子能量在 0~20eV,而聚合物中大部分的鍵能在 0~10eV,因此等離子體作用到固體表面后,可以將固體表面的原有的化學鍵產生斷裂,等離子體中的自由基中的這些鍵形成網狀的交聯結構,大大地激活了表面活性。

(C)形成新的官能團

化學作用如果放電氣體中引入反應性氣體,那么在活化的材料表面會發生復雜的化學反應,引入新的官能團,如烴基、氨基、羧基等,這些官能團都是活性基團,能明顯提高材料表面活性。

1.3真空等離子清洗機工作原理

該設備主要由真空腔體及高頻等離子電源、抽真空系統、充氣系統、自動控制系統等部分組成。工作基本原理是在真空狀態下,利用真空泵將工作室進行抽真空達到0.15-0.3mbar的真空度,再在高頻發生器作用下,將氣體進行電離,形成等離子體(物質第四態),然后利用等離子體對工件進行表面處理。等離子態顯著的特點是高均勻性輝光放電,根據不同氣體發出從藍色到深紫色的色彩可見光,材料處理溫度接近室溫。這些高度活躍微粒子和處理的表面發生作用,得到了表面親水性、拒水性、低摩擦、高度清潔、激活、蝕刻等各種表面改性。

真空等離子清洗機使用范圍:

1.等離子表面活化/清洗; 2.等離子處理后粘合; 3. 等離子蝕刻/活化;  4. 等離子去膠;  5. 等離子涂鍍(親水,疏水);   6. 增強邦定性;7.等離子涂覆; 8.等離子灰化和表面改性等場合。

通過其處理,能夠改善材料表面的浸潤能力,使多種材料能夠進行涂覆、鍍等操作,增強粘合力、鍵合力,同時去除有機污染物、油污或油脂。

真空等離子清洗機應用范圍

售后服務:

響應迅速,在深圳、蘇州、成都、長沙、鄭州等地均有售后服務團隊。供方嚴格按現行國家標準及技術規格要求確保產品性能、質量.

真空等離子清洗機整機保修壹年。保修期內設備如出現故障(非人為損壞),乙方安排售后人員跟進處理,直至故障排除,(非工作時間及工作日除外)質保期后,供應商免費提供技術咨詢及檢修費,只收取相關成本費。

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