產品參數：
| 型號 |
TS-SY05 |
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控制系統 |
PLC+觸摸屏 |
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供電電源 |
AC220V（±10V） |
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工作電流 |
整機工作電流不大于 1.2A（不含真空泵電流） |
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電源功率 |
200W（60%-100%連續可調） |
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頻率偏移量 |
小于 0.2KHz |
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氣體流量計 |
0-500ml/min(2路氣體可調) |
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氣體流量控制 |
精密針閥式浮子流量計（2路） |
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過程控制 |
自動與手動方式 |
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清洗時間 |
1-9999s 可調 |
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真空度 |
＜80Pa |
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內腔尺寸（圓形） |
φ160（直徑）*210（深度）mm |
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腔體材質 |
石英玻璃 |
TS-SY05產品特點：
內置兩路氣路，氣體流量可調，無需再搭配氣體混合儀 專利軟件、觸摸屏控制，操作簡易，智能化設計，避免誤操作 實時觀察腔體壓力變化情況， 電流、電壓實時監測，確保儀器穩定安全運行 石英材質真空腔體不與等離子體產生反應，不會污染樣品 配備的真空泵噪音和油氣污染小，真空度高 全程干燥的處理方式，不消耗水資源、無需添加化學藥劑、不產生污染
常見應用：：
石墨烯粉末清洗、改性，去除粉末雜質和油質，增加石墨烯表面親水基團（-OH）提高親水性 金屬工件油污等離子清洗，不損傷樣品，去除表面油污 PDMS等離子活化改性，提升親水性和鍵合力 ITO導電玻璃親水性處理并提高其功函數 硅片親水性處理，改性、活化表面
