產(chǎn)品參數(shù)：
| 型號(hào) |
TS-PL15MA |
| 腔體材質(zhì) | 316不銹鋼 |
| 腔體尺寸 |
L270mm*W280mm*H200mm |
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電極 |
平板氣浴電極，材質(zhì)6061-T6鋁合金 |
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功率電極 |
1 |
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接地電極 |
1 |
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電極尺寸 |
230mm *230mm（最大可處理產(chǎn)品尺寸，可處理8寸晶圓） |
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頻率 |
13.56MHz |
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功率 |
0-300W連續(xù)可調(diào)，可在設(shè)備運(yùn)行中隨時(shí)調(diào)整參數(shù)。 |
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氣體控制 |
MFC質(zhì)量流量計(jì)， 0-500ml 2路氣體 |
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真空度測(cè)量?jī)x器 |
2色顯示式高精度數(shù)字式壓力開關(guān)（SMC） |
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控制方式 |
7寸工業(yè)控制觸摸屏，全手動(dòng)控制和全自動(dòng)控制兩種控制方式 |
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控制軟件功能 |
界面顯示實(shí)時(shí)工作狀態(tài) |
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設(shè)備規(guī)格尺寸 |
長(zhǎng)600mm 寬600mm 高700mm |
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電極板配置 |
配備3個(gè)卡槽位（接地電極），極板間距離可調(diào)整，可按需求調(diào)整極板位置 |
隨著技術(shù)水平的不斷更新迭代，以及各生產(chǎn)廠家對(duì)產(chǎn)品潔凈度要求的不斷提高，清洗工藝逐步由濕法向干法轉(zhuǎn)變。干法清洗通過氣體形成的等離子體在工件表面發(fā)生作用，不需要經(jīng)化學(xué)試劑浸泡，也不用烘干，過程更加潔凈安全，清洗過程也方便控制，工作環(huán)境及人員安全明顯改善，在成本有效減少的同時(shí)，產(chǎn)品成品率及優(yōu)品率也得到很大提高，目前已成為各半導(dǎo)體產(chǎn)品領(lǐng)域廣泛應(yīng)用的技術(shù)。
